PK3L60-080U多轴纳米扫描台是基于压电控制的80um行程的位移台,可在XYZ轴上提供纳米分辨率的运动。它非常适用于小型组件的纳米定位,例如反射镜,光纤,激光二极管,微光学器件,传感器或细胞样本。应用包括光学延迟线,干涉仪的路径长度变化,激光光刻,扫描显微镜和膜片钳等。扫描具有高度可靠的多层低压压电(PZT)堆栈,可进行高占空比操作。精密的、有限元优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦导轨,位移台无需维护,不易磨损,并具有快速响应和快速稳定的性能,使其适用于动态过程,例如高频误差补偿,跟踪,快速步进或连续扫描。分辨率仅受控制电路的噪声限制,但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变,其可重复性和稳定性受到影响。可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞和蠕变的影响,并且PK3L60-080U定位系统可以配备电容测量系统,PK3L60-080U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。PK3L60-080U系列非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。本系列产品种类包括X、Z、XZ、XY、XYZ轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。
产品特性
—XYZ位移:80μm(闭环)
—中孔尺寸:Ø25mm
—z大承载能力:0.6Kg
—紧凑型设计
—高精度柔性导向
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制中心孔径大小
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微操纵
结构原理 堆叠形式 典型应用
PK3L60-080U系列技术参数