PSVL50-300U紧凑型线性纳米定位台,沿X方向可提供100μm或更大行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。Z轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台。
该系列纳米位移台采用高可靠多层低压压电叠堆陶瓷作为驱动元件,利用有限元优化的集成态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦柔性机构,压电位移台无需维护,无磨损,并具有快速响应和快速稳定的性能,使其适用于定位控制,例如步进或连续扫描。
压电陶瓷促动器为树脂绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。其使用寿命被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器,可实现高精度和可重复的运动,还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。
产品特性
—紧凑型超薄设计
—超大型城:300μm(闭环)
—SGS闭环控制
—可叠堆成XYZ产品
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—定制安装转配孔
应用领域
—显微镜、生物技术
—纳米定位、测试应用
—半导体技术
—光子、光纤定位
结构原理 响应特性 典型应用
PSVL50-300U系列技术参数