PS2L40-080U系列经过优化设计,可提供110µm行程范围,同时保持其紧凑的外观。 该平台也可用于2轴版本XZ轴,也可用于带有X轴或Z轴的1轴版本。PS2L40-080U可与Z轴组合升级为XYZ产品,型号为PS3L40-080U-S。
闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器,可实现高精度和可重复的运动,还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。该产品可呆在一定的负载进行步进扫描动态使用。
由于其高性价比和高性能参数,该平台在光纤对准和激光写入应用中获得了极大的成功。
产品特性
—高精度,多轴定位
—XY轴位移行程80μm
—亚纳米范围内的高分辨率
—高精度柔性铰链系统
选配功能
—可定制孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供XYZ版本
应用领域
—共聚焦显微镜
—激光写入
—光子聚合
—光线对准
—3D打印
结构原理 位移特性 典型应用
PS2L40-080U系列技术参数