PT2R70-060S开发θxθz轴进行超高精度定位的应用。可提供0.3mrad的行程和亚微弧度的分辨率;低移动质量和优化的闭环控制可为高速应用提供出色的响应时间。
PT2R70-060S系列压电偏摆/旋转台通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整,内部采用无回差柔性铰链并联结构设计,产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快,是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。
采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构,可以满足高的动态性能和高的平面导向精度。
平台特点体积小、结构紧凑、易于集成。被广泛的应用于粒子跟踪、光镊、光束稳定、扫描显微镜等领域。平台可带载5kg负载使用。
产品特性
—偏转角度:0.3mrad
—优异的位置稳定性及纳弧度级分辨率
—θxθz 二维偏转、旋转运动
—超精度柔性铰链设计
—内部集成应变片传感器
选配功能
—可定制转接装置及定制其它固定方式
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制镜片转接工装
应用领域
—图像处理/稳定
—激光扫描/光束偏转
—激光调谐、激光束稳定
—光学过滤器/开关
—干涉测量
驱动方式 关系曲线 典型应用
PT2R70-060S系列技术参数